納米型顯微CT柱狀測試圖樣模體(MicroCT Bar Pattern NANO Phantom),內含兩個3 x 3 mm² 硅質芯片,分別水平和垂直安裝,通過塑料支架固定在模體的中心位置。雙硅芯片上均呈現數組線狀或點狀圖樣,線寬和點直徑從1µm到15µm不等,結構的深度在5和15µm 之間變化。用戶僅通過一次曝光和測量,就可以對整個芯片的中心以及外圍的分辨率做出評估。通過最直接、可見的方式評估3D高分辨率顯微CT(Micro-CT)系統的平面及軸向空間分辨率。
產品參數
產地:德國
品名:MicroCT-Barpattern-NANO
模體參數直徑:5.2mm
高度:19.1mm
材料:致密塑料
模體尺寸圖
芯片參數直徑:2.96mm
高度:0.66mm
材料:硅
芯片結構:1-15µm
結構深度:5-15µm
對比材料 :硅/空氣
芯片擺放示意圖
芯片尺寸示意圖
芯片上的線型和點型
芯片上的線寬/點寬與線對數量的對應
1 至 15 µm 結構的圖案
顯微 CT 掃描(3.5 µm 體素大?。?/div>
芯片結構劃分
芯片結構分布
線性/點形分布
芯片結構描述
部分1結構
部分1結構圖
部分2結構
部分2結構圖